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一種基于高精度齒輪加工的五軸加工裝置及其加工工藝，涉及加工技術領域。該五軸加工裝置包括安裝板、側護板和機械臂，側護板的一側與安裝板連接，機械臂安裝在安裝板的下端，機械臂的輸出端與刀具連接，刀具的下方設有操作平臺，操作平臺的上方設有夾緊平臺，夾緊平臺的外圍設有夾緊板。側護板的外表面安裝有氣槍，氣槍的一端連接有軟管。本發明工藝中使用的五軸機床分度精度高，運行時刀具的磨損可以均勻分散在每個齒上，使得每個齒的磨損情況一致，即使刀具磨損嚴重也不會影響齒距精度，完全可以保證齒輪的精度等級。